随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展, 对微齿轮、微弹簧等 MEMS 器件 需求越来越多,因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求, 已有的研究表明, 利用常规材料来成形微小零件时, 材料表现出一系列明显的 尺寸效应,从材料性能到制备工艺都限制了 MEMS 器件与技术的发展与应用。研 究开发了一种适用于制造 MEMS 器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工 工艺技术,从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。
商品类型 | 技术成果 | 项目阶段 | 试生产 | 成果权属 | 独占 |
技术领域 | 交易方式 | 技术转让 | 权属人 |
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