江苏省技术产权交易市场

适用于制造 MEMS 器件的材料及其加工技术
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商品编号
46987211025295450320
商品权属
代理
交易方式
技术转让
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功能新材料行业分中心
电话 138xxxx2785
随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展, 对微齿轮、微弹簧等 MEMS 器件
需求越来越多,因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求,
已有的研究表明, 利用常规材料来成形微小零件时, 材料表现出一系列明显的
尺寸效应,从材料性能到制备工艺都限制了 MEMS 器件与技术的发展与应用。研
究开发了一种适用于制造 MEMS 器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工
工艺技术,从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。
随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展, 对微齿轮、微弹簧等 MEMS 器件
需求越来越多,因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求,
已有的研究表明, 利用常规材料来成形微小零件时, 材料表现出一系列明显的
尺寸效应,从材料性能到制备工艺都限制了 MEMS 器件与技术的发展与应用。研
究开发了一种适用于制造 MEMS 器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工
工艺技术,从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。
商品类型 技术成果 项目阶段 试生产 成果权属 独占
技术领域 新材料 交易方式 技术转让 有效期至 长久有效
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